在晶体生长过程中，晶体的直径主要受()和()的变化而变化。氩气在直拉单晶硅工艺中的作用是保护硅料不被氧化，()和()。

在晶体生长过程中，晶体的直径主要受（)和（)的变化而变化。氩气在直拉单晶硅工艺中的作用是保护硅料不被氧化，（)和（)。